好科（上海）環(huán)?？萍加邢薰緸楣饫w、光電等采用氣相沉積工藝生產(chǎn)的行業(yè)提供環(huán)保節(jié)能配套工程的整體解決方案。對(duì)于其配套的1）粉塵的干法回收和氣力輸送、2）廢氣的吸收處理和再利用、3）廢酸的處理和再利用，4）刻蝕酸洗槽及化學(xué)介質(zhì)分配系統(tǒng)，5）余熱利用等環(huán)保節(jié)能設(shè)備，好科科技提供整套的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、制造、建設(shè)和運(yùn)維工作。
好科科技?xì)庀喑练e工藝環(huán)保節(jié)能綜合解決方案
工藝段 | 配套工藝 | 配套設(shè)備 | 說明 |
VAD/OVD氣相沉積 | 干法除塵+ | 布袋除塵器 | 高溫耐腐蝕、超低排放<5mg/m3 |
降溫+ | 蒸發(fā)降溫塔 | ||
鹽酸回收+ | HCl吸收塔 | 回收鹽酸濃度 >15%wt | |
尾氣堿液吸收 | 堿液吸收塔 | HCl排放濃度<5mg/m3 | |
PCVD/MCVD氣相沉積 | 濕法除塵+ | 噴霧除塵器 | |
氯氣吸收 | 氯氣吸收塔 | Cl2排放濃度<5mg/m3 | |
八甲基硅烷氣相沉積 | 干法除塵+ | 布袋除塵器 | SS304不銹鋼 |
余熱回收 | 熱管換熱器 | >90℃熱水或飽和蒸汽 | |
粉塵處理 | 正壓稀相氣力輸送 | 接料流化器 | |
料倉設(shè)備 | |||
光纖拉絲 | 有機(jī)廢氣吸附 | 活性炭纖維濾筒 | |
活性炭吸附箱 | |||
預(yù)制棒刻蝕 | 氫氟酸刻蝕+ | 刻蝕槽 | 立式、臥式；旋轉(zhuǎn)輥輪 |
化學(xué)藥劑分配箱 | 氫氟酸等化學(xué)藥劑添加 | ||
氟化氫吸收+ | HF吸收塔 | 臥式、立式填料塔 | |
含氟廢酸處理 | 廢酸處理系統(tǒng) | 中和沉淀法 [F-]排放<10mg/L | |
廢水零排放 | 稀鹽酸濃縮 | 蒸發(fā)濃縮器 | >20%濃鹽酸 |
吸收液蒸發(fā) | 多效蒸發(fā)、MVR | NaCl晶體 | |
含氟廢液 | 反應(yīng)蒸發(fā)系統(tǒng) | 高純度NaF晶體副產(chǎn)品 |
